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常州银河世纪微电子有机废气处理项目程案例

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常州银河世纪微电子股份有限公司是一家专注于半导体分立器件研发、生产和销售的高新技术企业,具备IDM模式下的一体化经营能力。公司产品广泛应用于计算机及周边设备、家用电器、适配器及电源、网络通信、汽车电子、工业控制等领域。公司于2021年1月27日在上交所上市。

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          半导体行业作为高新技术产业往往被人误解为 “清洁”产业,但事实上,半导体生产过程中使用了大量有机和无机物,包括许多有毒有害物质,对环境危害较为严重,如不加以控制,将会产生较大的环境污染。随着国家对环保的重视,国家和地方相继发布了半导体行业废气排放标准。

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           半导体生产过程中产生的废气依据废气排放特性,可分为:一般排气、酸性排气、碱性排气和有机排气、针对不同的废气特性,处理的方法也不同。

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常州银河世纪微电子股份有限公司在生产中主要产生一些酸碱废气和Voc有机废气。对于半导体行业中产生的酸性碱性废气,由于处理原理基本相同,ag九游会登录j9入口国际版采用废气洗涤塔系统进行处理。

常州银河有机废气处理03

废气在风机引风作用下,废气进入第一级洗涤塔底层填料床,以低速进入内外夹套而成的均压室内,采用循环泵输送,逆流式洗涤,将废气平均分布在 PP 特拉瑞带刺花环填料层周围,每只呈现点接触,排列“Z 或 W”不规则路线行走,无偏流现象,再配合螺旋式高流量、不阻塞喷嘴,使气液二相混合率达 97%以上,洗涤塔主要采用碱液(具体根据现场实际情况)进行中和吸收处理,如此在经过单机或多级水洗涤塔后吸收后废气得到再次净化,最终废气经处理后达到国家排放标准。

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而对于半导体行业中产生的Voc有机废气,ag九游会登录j9入口国际版通常采用直接焚烧、有机活性炭吸附、生物氧化等方法进行处理。对于浓度较高的有机废气,ag九游会登录j9入口国际版才建议直接焚烧,而浓度较低的有机废气,ag九游会登录j9入口国际版通常采用活性炭吸附的来处理。

常州银河有机废气处理05

此项目ag九游会登录j9入口国际版用活性炭纤维吸附的方法处理,其结构及工作原理:净化器分进风段、炭纤维过滤段和出风段。过滤段由几个到几十个过滤筒组成,有机废气从进风段进入箱体经由滤筒吸附净化,净化后的空气由通风机排入大气。

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随着中国半导体行业的飞速发展,半导体行业废气排放达标及监管任务繁重。有效控制半导体生产对环境带来的影响,促进行业发展健康可持续发展,这是解决半导体行业发展的重要问题。ag九游会登录j9入口国际版净化希望能为半导体行业提供更多性价比高的废气处理技术,让半导体行业有更多的技术选择。


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